回帖：Synopsys S-Metro 提供了一个全面而强大的工具箱，用于自动评估数值和基于图像的计量数据，用于光掩模鉴定、建模数据准备和过程表征。工艺工程师用它来测量光刻性能，例如通过工艺窗口分析。
来自任何来源的计量图像，无论是光掩模还是晶圆，都可以在 Synopsys S-Metro 中进行处理和分析。图像与相应的布局对齐，可以平均以提高对比度;提取轮廓以用于模型校准和验证以及训练机器学习模式。
Synopsys S-Metro 以一致和透明的方式自动处理 SEM 图像和 CD 数据。该基础架构能够处理数以万计的数据点，并在计算集群上很好地扩展。