[行业软件]光刻校准软件 Progen和Proteus 2024  linux [复制链接]

Synopsys公司为实现光刻校准技术研发出两款商用的光刻校准软件工具:Progen和Proteus
Proteus
Proteus WorkBench (PWB) 是 Synopsys 强大的驾驶舱工具，用于开发和优化基于 Proteus 的掩模合成解决方案。它基于有效的分层 GDSII/OASIS 布局可视化和分析引擎，为光刻仿真、紧凑模型构建、全芯片光学邻近校正 (OPC) 配方调整、布局验证和掩模合成流程开发提供全面的环境。
PWB 提供了一个易于使用的平台，可以访问广泛的工具集，从而能够快速校准精确的模型，支持优化高效的 Proteus 配方以在 OPC 和验证中部署。
随着最先进的光刻曝光工具以其物理分辨率极限运行，新的掩模和工艺技术正在被部署，以进一步缩小与先进技术节点的图案化相关的特征。因此，对光学邻近校正 (OPC) 和验证的要求变得越来越具有挑战性。
根据大型实验数据集校准的紧凑模型需要准确反映各种设计的光刻性能，并且需要针对越来越多的参数优化校正配方。
借助 Proteus WorkBench (PWB)，Synopsys 提供了一个单一环境，可促进模型构建、Proteus OPC 配方生成和优化、布局可视化和编辑、验证，并支持分辨率增强技术 (RET) 的开发和评估。PWB 结合了易用性和高效率，从而可以快速设置可用于生产的掩模合成流程
Proteus WorkBench,Proteus,Progen,S-Litho,S-Metro这几个都是linux下的

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Synopsys S-Litho 2024.06 Linux64 Synopsys S-Metro 2024.06 Linux64  

Synopsys ProGen 2023.12 Linux64  
Synopsys Proteus 2023.12 Linux64  Synopsys ProteusWorkbench 2023.12 Linux64

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用性和高效率，从而可以快速设置可用于生产的掩模合成流程
Proteus WorkBench,Proteus,Progen,S-Litho,S-Metro这几个都是linux下的